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光學(xué)電子凈化工程

光學(xué)電子凈化工程是將一定范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細菌等污染物排除,并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)而設(shè)計出的密閉空間。光學(xué)電子凈化工程已是半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造等行業(yè)不可或缺的主要設(shè)施。

系統(tǒng)組成

  • 潔凈區(qū)

    空氣懸浮粒子濃度
    受控的限定空間

  • 潔凈輔助區(qū)

    凈化用房
    物料凈化室
    部分生活用房

  • 管理區(qū)

    辦公、值班
    及管理用房

  • 設(shè)備區(qū)

    凈化空調(diào)設(shè)備
    電氣設(shè)備
    冷熱設(shè)備和高純水
    高純氣管道設(shè)備

等級標準

潔凈室(區(qū))空氣潔凈級別表

潔凈室級別 塵粒最大允許數(shù)/立方米
≧0.5μm塵粒數(shù)
≧0.5μm塵粒數(shù) 微生物最大允許數(shù)
(浮游菌/立方米)
沉降菌/皿
100級 3500 0 5 1
1000級 350000 2000 100 3
10000級 3500000 20000 500 10
30000級 10500000 60000 1000 15

光學(xué)微電子凈化工程換氣參數(shù)

換氣次數(shù) 100000級≧15次
10000級≧20次
1000級≧30次
壓差 主車間對相鄰房間≧5pa
平均風(fēng)速 10級、100級 0.3~0.5m/s 溫濕度 冬季﹥16℃
夏季﹤26℃波動±2℃
濕度45~65%
GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜
電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電
噪音 ≦65db(A)
新風(fēng)補充量 新風(fēng)補充量是總風(fēng)量的10%~30%
照度 300LX

解決方案

應(yīng)用領(lǐng)域

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