近年來(lái)隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,對(duì)于潔凈實(shí)驗(yàn)室的要求也越來(lái)越多,潔凈實(shí)驗(yàn)室通常也叫超凈實(shí)驗(yàn)室,潔凈實(shí)驗(yàn)室,凈化實(shí)驗(yàn)室,潔凈實(shí)驗(yàn)室是一個(gè)全密閉的環(huán)境,通過(guò)空調(diào)送、回風(fēng)系統(tǒng)的初、中、高效過(guò)濾器,使室內(nèi)環(huán)境空氣不斷循環(huán)過(guò)濾,以保證空氣懸浮粒子受控到一定濃度。潔凈實(shí)驗(yàn)室最主要的作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中進(jìn)行檢測(cè)。
潔凈
實(shí)驗(yàn)室凈化系統(tǒng)的原理一般是這樣的:氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→高效凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌等顆?!?回風(fēng)百葉窗→初效凈化….(重復(fù)以上過(guò)程)
潔凈實(shí)驗(yàn)室的氣流形式通常有以下幾種:
?。?)單向流潔凈區(qū)(水平、垂直流向);
(2)非單向流潔凈區(qū);
(3)混合流潔凈區(qū);
?。?)環(huán)形/隔離裝置。
混合流潔凈區(qū)是ISO國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)提出的,即把實(shí)際早已存在的非單向流潔凈室設(shè)置了局部的單向流的潔凈工作臺(tái)/層流罩對(duì)關(guān)鍵部位進(jìn)行“點(diǎn)”或“線”的保護(hù),以減少單向流潔凈區(qū)的面積。
潔凈實(shí)驗(yàn)室凈化工程項(xiàng)目的主要控管以下幾種:
1、除去空氣中漂游之微塵粒子;
2、防止微塵粒子之產(chǎn)生;
3、控制溫度和濕度;
4、調(diào)節(jié)氣體壓力;
5、排除有害氣體;
6、確保結(jié)構(gòu)物與隔間氣密性;
7、防止靜電;
8、預(yù)防電磁干擾;
9、安全因素;
10、考慮節(jié)能
潔凈實(shí)驗(yàn)室三種常用凈化空調(diào)系統(tǒng)
1、 直流式凈化空調(diào)系統(tǒng)
?。?)直流式系統(tǒng)就是不用回風(fēng)循環(huán)系統(tǒng),也就是直送直排系統(tǒng),其能耗很大。
(2)這種系統(tǒng)一般適用于有致敏性的生產(chǎn)工藝(如青霉素分裝工藝)、實(shí)驗(yàn)動(dòng)物房、生物安全潔凈室以及可能形成交叉污染生產(chǎn)工藝的實(shí)驗(yàn)室。
?。?)采用這種系統(tǒng)時(shí)應(yīng)充分考慮余熱的回收。
2、 全循環(huán)式凈化空調(diào)系統(tǒng)
?。?)全循環(huán)式系統(tǒng)即無(wú)新風(fēng)供給,也無(wú)排風(fēng)的系統(tǒng)。
?。?)這種系統(tǒng)無(wú)新風(fēng)負(fù)荷,很節(jié)能,但室內(nèi)空氣品質(zhì)差,壓差不好控制。
?。?)一般適用于無(wú)人操作、值守的潔凈室。
3、 部分循環(huán)式凈化空調(diào)系統(tǒng)
?。?)這是用得最多的系統(tǒng)形式,也就是有部分回風(fēng)參與循環(huán)的系統(tǒng)。
?。?)在該系統(tǒng)中,新風(fēng)和回風(fēng)混合經(jīng)處理送到無(wú)塵潔凈室內(nèi),回風(fēng)的一部分用于系統(tǒng)循環(huán),另一部分被排走。
?。?)該系統(tǒng)壓差易于控制,室內(nèi)品質(zhì)較好,能耗介于直流式系統(tǒng)與全循環(huán)式系統(tǒng)之間。
(4)適用于允許采用回風(fēng)的生產(chǎn)工藝。